惑星大気の起源として、惑星内部から揮発性成分が噴出する過程を脱ガスという。地球では火山活動を通じて継続的に脱ガスが起きている。アルゴンやキセノンの同位体を使った議論から、地球大気の8割程度は地球史の初期に内部から脱ガスしたと考えられる。アルゴンの同位体比は岩石中のの崩壊により時間とともに高くなる。地球大気の値（）はマントルの値よりもかなり低く、最近の脱ガスの寄与が大きいと説明できない。また、惑星形成時に微惑星が惑星に衝突するときに、揮発性成分が直接大気に供給される。これは衝突脱ガスと呼んでいる。