遅い（slow）中性子捕獲とそれに続くベータ崩壊によって鉄族より重い元素をつくる過程。sプロセスと呼ばれることも多い。核図表で安定線上の原子核が形成される。中性子捕獲が速い（rapid）r過程とは核図表の上で異なった経路を取る。

s過程は、漸近巨星分枝星（AGB星）や超新星など中性子が豊富に存在する場所でおこる。AGB星で生成されたs過程元素は、ヘリウム殻フラッシュによる汲み上げにより外層へと運ばれ、星間物質へと還元される。s過程で捕獲される中性子は ¹³C(α, N)¹⁶O などの反応により供給される。 中性子捕獲元素も参照。