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蒸着　deposition

金属や酸化物などを蒸発させて、対象素材の表面に付着させて薄膜を形成する方法のこと。真空中で膜物質を飛ばし素材に物理的に付着させる物理気相成長法（PVD; Physical Vapor Deposition）と、膜物質を含[…]