惑星大気の起源として、惑星内部から揮発性成分が噴出する過程を脱ガスという。地球では火山活動を通じて継続的に脱ガスが起きている。アルゴンやキセノンの同位体を使った議論から、地球大気の8割程度は地球史の初期に内部から脱ガスしたと考えられる。アルゴンの同位体比 ⁴⁰Ar/³⁶Ar は岩石中の ⁴⁰K の崩壊により時間とともに高くなる。地球大気の値（⁴⁰Ar/³⁶Ar = 295.5）はマントルの値よりもかなり低く、最近の脱ガスの寄与が大きいと説明できない。また、惑星形成時に微惑星が惑星に衝突するときに、揮発性成分が直接大気に供給される。これは衝突脱ガスと呼んでいる。